超光滑超精密玻璃抛光新技术
提要:玻璃抛光历史悠久,中世纪欧洲制造玻璃镜时,采用了粗磨、细磨和抛光,我国乾隆玻璃的抛光质量已很高。目前除了平板玻璃、器皿玻璃、艺术玻璃应用传统的抛光技术外,先进的光学制造、微光学制作、IT及光电子行业的基片制作均需要超光滑和超精密抛光技术,如平板显示器(FPD)普通Genii型的粗糙度Ra<20nm,有源矩阵a-SiTFT和P-SiTFT基片玻璃的粗糙度均要求小于5nm。光盘和磁盘基片玻璃要求表面粗糙度为1?6nm,哈勃望远镜的轻型主镜抛光后粗糙度达12nm,这些超光滑和超精密要求,促进了抛光新技术的发展。
2016-05-24
